ガスの導入
エチルシランは、化学式 Si2H6 の無機化合物です。 これは、室温および常圧で不快な刺激臭を有する無色透明の有毒ガスです。 シランと同様の化学的性質を持ちますが、反応性はシランよりも強いです。 シランよりも不安定で、室温でゆっくりとシランと水素に分解します。 300～500℃でSiH4、SinHm、H2に分解し、光でも分解します。 主に太陽電池、感光性回転管、アモルファスシリコン膜、エピタキシャル成長、酸化膜、窒化膜、化学蒸着などに使用されます。
基本特性
エチルシランは無色透明の液体で、空気中で自然発火し、発火点は室温より低くなります。 空気に触れるとすぐに燃焼し、SiH4 と H2 に分解します。 燃焼濃度範囲が広く、0.2%以上では燃焼時に火炎が発生しますが、0.2%以上では燃焼時に火炎が発生します。 濃度が0.2%未満では酸化反応が起こり、白色のSiO2が生成します。 塩素ガス中での爆発燃焼。 ハロゲンガスとは爆発的に反応しますが、低温の場合は適度にハロゲン化してください。 SF6に触れると爆発する。 四塩化炭素とクロロホルムとの激しい反応。 アルカリ金属および水銀合金と反応および分解して、シランと水素を生成します。 苛性カリウムと反応して H2 を遊離します。 純水や酸とは反応しませんが、アルカリと反応してケイ酸塩と水素を生成します。 ガラスから溶解した微量のアルカリの存在でも、エタンの加水分解を引き起こす可能性があります。 KH または LiCl 不純物が存在すると、室温でゆっくりと分解します。
Si2H6- → SiH4+(SiH2) ×
エチルシランは、二硫化炭素、エチルアルコール、ベンゼン、およびエチルケイ酸に可溶です。 ゴム、バター、潤滑剤、鉛などを腐食しますが、ほとんどの金属は腐食しません。
主な用途
1. 太陽電池、感光性回転管、アモルファスシリコン膜、エピタキシャル成長、酸化膜、窒化膜、化学気相成長などの分野で使用されます。 太陽電池の製造において、アモルファスシリコンウェーハ上へのエチレンシランの堆積速度はシランの堆積速度よりもはるかに速く、温度を200〜300℃下げることができます。 イオン注入では、イオン源としてエタンを使用すると、他のガスをイオン源として使用するよりも発光する可能性が高く、ビーム電流がより強力になるため、非常に優れた結果が得られます。
2. 半導体技術では、エピタキシャルプロセスや拡散プロセス、太陽電池や電子写真に使用される感光ドラムなどに使用されます。
