ガスの説明
テトラフルオロカーボン、テトラフルオロメタンとしても知られています。 無色、無臭、無臭の気体。 水に不溶、25℃常圧で0.0015、クロロホルム、ベンゼンに可溶。 この製品は無毒であり、不燃性です。 高濃度では麻酔効果があります。 その高純度ガスと高純度酸素との混合物は、現在マイクロエレクトロニクス産業で最も広く使用されているプラズマ エッチング ガスです。 Chemicalbookは低温の冷媒や断熱媒体としても使用できます。 化学的および熱的安定性に優れ、多くの試薬に対して不活性で、1000℃でも加水分解されません。 室温では銅、ニッケル、タングステンとは反応しません。 CF4 に代表されるパーフルオロカーボンは、CF 結合の化学的安定性が強いため、本質的に無毒であると考えられます。
主な用途
四フッ化炭素は現在、マイクロエレクトロニクス産業で最も広く使用されているプラズマ エッチング ガスです。 シリコン、二酸化シリコン、窒化シリコン、リンケイ酸ガラス、タングステンなどの薄膜材料のエッチングに広く使用されています。 また、電子機器の表面洗浄、太陽電池の製造、レーザー技術、低温冷凍、ガス絶縁、漏れ検出剤、宇宙ロケットの姿勢制御、洗浄剤、潤滑剤、プリント回路製造におけるブレーキ液などにも広く使用されています。 。 CF4 は化学的安定性が高いため、金属精錬やプラスチックなどの産業でも使用できます。
保管と注意事項
涼しく換気の良い不燃性ガス専用倉庫に保管してください。 火花や熱源から遠ざけてください。 保管温度は30℃を超えないようにしてください。 可燃物や酸化剤とは別に保管し、混合保管は避けてください。 保管場所には、漏洩に対する緊急対応設備を設置する必要があります。
