レーザー混合ガス

ガスレーザーの重要な特徴の 1 つは、レーザー発振媒体がガスの混合物または単一の純粋なガスであることです。したがって、レーザー混合ガスの成分の純度には特別な要件があり、混合ガスの汚染を防ぐために、混合ガスの包装に使用される鋼製シリンダーも充填前に乾燥させる必要があります。ヘリウム・ネオンレーザーを第1世代のガスレーザー、炭酸ガスレーザーを第2世代のガスレーザーとすると、半導体製造で広く使われているKrFレーザーは第3世代のレーザーと言えます。